Engineering Ceramic Co。、（EC©™）レポート：
Engineering Ceramic Coは、高度な産業の厳しいニーズを満たすためにそれぞれ調整された3つの異なる材料タイプの炭化シリコンウェーハボートを誇らしげに提供しています。
CVD-SICコーティングを備えた炭化シリコン（RSIC）ウェーハボートの再結晶
洗練された製造プロセスで、再結晶化された炭化シリコンウェーハボートが際立っています。ボートは、個々のユニット部品に分割し、個別に焼結し、シリカ接着剤と結合することにより、細心の注意を払って作られます。これらの部分は、高温発火により単一の堅牢な構造に融合し、その後、精密CVD-SICセラミックコーティング（厚さ100 µm±1 µm）を適用します。それ以外の場合は、このコーティングは不可欠です。それ以外の場合は、操作中に粒子汚染につながるためです。 CVD-SICコーティングを備えたグラファイト製品とは異なり、RSICウェーハボートは熱膨張係数（CTE）の不一致を排除し、2〜3年の信頼できるサービス寿命を確保します。ただし、複雑なプロセス、生産時間の延長、およびコストの上昇は、この製品のプレミアム品質を反映しています。
反応結合炭化シリコン（RBSIC）ウェーハボート
反応結合炭化シリコン（RBSIC）ウェーハボートは、シリコンインフィルテッドSIC（SISIC）としても知られており、0.1％未満の多孔性で例外的な表面密度をもたらし、追加のCVDセラミックコーティングの必要性を無効にします。このボートは、SICとSIパウダーをブレンドし、それらを形成し、それらをまとまりのあるユニットに焼き付け、精密なCNC加工で仕上げることによって生産されます。 SICの硬度と脆性は、より高いスクラップレートと生産コストの上昇をもたらす課題を引き起こしますが、結果は耐久性のある製品です。 RBSICには、セグメント化された処理と融解を介してコストを削減するQuartzと比較して、10〜15％の遊離SIが含まれており、最大動作温度を1350°C未満（SIの融点）に制限しています。さらに、HF腐食に対するその感受性は、粒子汚染につながる可能性があります。これは、特定の用途を考慮すべき要因です。
99.5％minの純度で圧力のない焼結SICから作られた焼結された炭化シリコン（SSIC）ウェーハボートは、パフォーマンスの頂点を表しています。カスタリング、焼結、CNCの機械加工（カスタムスジック、ナット、ピンで固定されたアセンブリで製造プロセスが集まり、負荷をかける強度を最適化します。多孔性が事実上ゼロであるこのボートは、追加のコーティングを必要とせず、粒子汚染の免疫があります。極端な条件で優れており、1600°Cの最大動作温度をサポートし、真空環境で1800°Cを超えています。特に高温で過酷な腐食環境で優れた腐食抵抗で有名なSSICウェーハボートは、5年以上の印象的なサービス生活を提供し、最も厳しいアプリケーションに理想的な選択肢となっています。
20年以上のSIC製品製造の過程で、ECは広範な生産経験と実用的な専門知識を蓄積してきました。安定した製品、信頼できる技術サポート、24時間年中無休のサービスをお客様に提供します。詳細な製品マニュアル、技術的な問い合わせ、価格設定、在庫情報については、お問い合わせください。
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